Spiediena sensora kļūda?
Pirmkārt, nobīdes kļūda: tā kā spiediena sensora vertikālā nobīde paliek nemainīga visā spiediena diapazonā, pārveidotāja difūzijas izmaiņas un lāzera regulēšanas korekcija radīs nobīdes kļūdu.
Otrkārt, ir jutīguma kļūda: radītās kļūdas lielums ir proporcionāls spiedienam. Ja ierīces jutība ir augstāka par tipisko vērtību, jutības kļūda būs pieaugoša spiediena funkcija. Ja jutība ir zemāka par tipisko vērtību, jutības kļūda būs spiediena samazināšanās funkcija. Šīs kļūdas iemesls ir izmaiņas difūzijas procesā.
Trešais ir lineārā kļūda: tas ir faktors, kam ir neliela ietekme uz spiediena sensoru sākotnējo kļūdu. Šīs kļūdas iemesls ir silīcija vafeles fiziskā nelinearitāte, bet sensoriem ar pastiprinātājiem ir jāiekļauj arī pastiprinātāja nelinearitāte. Lineārā kļūdas līkne var būt ieliekta līkne vai izliekta līkne svēršanas sensoriem.
Visbeidzot, ir histerēzes kļūda: vairumā gadījumu spiediena sensoru histerēzes kļūdu var pilnībā ignorēt, jo silīcija plāksnēm ir augsta mehāniskā stingrība. Parasti histerēzes kļūda ir jāņem vērā tikai situācijās, kad spiediens būtiski mainās.
